自动喷胶机设备使用性能要求

1.可用于对不同形状尺寸的基片进行喷胶.zui大喷胶尺寸要求达到8寸。

2.可对不同粘度的胶进行喷涂，供胶分辨率在15uL以内。

3.可对大深宽比结构进行侧壁涂胶，得到厚度均匀的胶膜。

4.喷胶均匀性要求：单片表面≤±15%，片间为≤±10%。

5.计算机系统控制工艺参数。

6.可手动卸载基片。

7.喷胶室易清洗。

8.供胶流速和流量可编程。

9供胶回吸量可调节。

10.适用于所有光刻胶和聚合物。

11.具有自动针管式胶液供给系统，可调节压力控制及测量胶量，并具有胶液回吸功能。

12.基片可对准。